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Vacuometro capacitivo con manometro a diaframma HPM18V 4-20 mA

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HPM18V Capacitance Diaphragm Gauge-Datasheet.pdf

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HPM18V è un vacuometro capacitivo, chiamato anche misuratore di film capacitivo (CDG).Questo prodotto utilizza un sensore capacitivo ceramico come elemento sensibile e utilizza una connessione a vuoto per misurare direttamente la pressione.I suoi segnali di uscita analogici come 0-5 o 0-10 V CC sono proporzionali alla pressione misurata e non sono influenzati dal tipo e dalla composizione del gas di processo.La ceramica ha le caratteristiche di elevata elasticità, resistenza all'usura, resistenza alla corrosione e rapida dissipazione del calore, il che conferisce al vacuometro un'ottima stabilità termica e una deriva termica estremamente bassa.

Descrizione del prodotto

Applicazione

Caratteristiche

Parametri tecnici

HPM18V è un vacuometro capacitivo, chiamato anche misuratore di film capacitivo (CDG).Questo prodotto utilizza un sensore capacitivo ceramico come elemento sensibile e utilizza una connessione a vuoto per misurare direttamente la pressione.I suoi segnali di uscita analogici come 0-5 o 0-10 V CC sono proporzionali alla pressione misurata e non sono influenzati dal tipo e dalla composizione del gas di processo.La ceramica ha le caratteristiche di elevata elasticità, resistenza all'usura, resistenza alla corrosione e rapida dissipazione del calore, il che conferisce al vacuometro un'ottima stabilità termica e una deriva termica estremamente bassa.

Applicazione

Applicazione sottovuoto
Laboratorio e ricerca e sviluppo
Industria dei semiconduttori
Confezionamento sottovuoto
Apparecchiature per il processo di incisione al plasma

Caratteristiche

Principio del film condensatore
Alta precisione e buona stabilità
Ha un'eccellente capacità anti-sovraccarico
Il rilevamento non è influenzato dal tipo e dalla composizione del gas
Risposta rapida e piccola isteresi
Misurazione diretta della pressione, il segnale di uscita analogico è proporzionale alla pressione misurata

Supporta varie interfacce di pressione KF, CF, VCR, ecc. nel settore del vuoto

Parametri tecnici

Mezzo di misura	Vari gas compatibili con i materiali di contatto
Intervallo di pressione	0~2 Torr…1000 Torr
Precisione	±0,1%FS,±0,25%FS,±0,5%FS(soggetto al campo di misura)
Temperatura di lavoro	-40～85℃
Tensione di alimentazione	10~30 VCC 8,5~30 VCC 12~30 VCC 10~30 VCC (soggetto all'output)
Segnale di uscita	4~20 mA CC, tensione, RS485