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Misurazione del sistema di vuoto con trasmettitore di pressione assoluta KF16

HPM10V è un manometro piezoresistivo. Utilizza un sensore piezoresistivo in silicio come elemento sensibile e misura direttamente la pressione usando una connessione a vuoto. I suoi segnali di uscita analogici come 0-5 o 0-10 VDC sono proporzionali alla pressione misurata e non sono influenzati dal tipo e dalla composizione del gas di processo. Il chip di silicio diffuso all'interno del sensore è incapsulato da un diaframma e cavità da 316L in acciaio inossidabile. Un circuito dedicato appositamente sviluppato garantisce prestazioni stabili e affidabili e un aspetto compatto. Il manometro piezoresistivo HPM10V ha un'elevata precisione di misurazione e un'eccellente stabilità a lungo termine. Il sensore piezoresistivo di silicio di alta qualità interno è compensato dalla temperatura e ha un ampio intervallo di temperatura di funzionamento. L'indicatore del vuoto è piccolo di dimensioni complessive, facile da usare e affidabile ed è adatto per una misurazione a bassa precisione del vuoto di composizioni di gas complesse.

Stato di disponibilità:
Quantità:
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Panoramica

Il trasmettitore di pressione assoluta HPM10V KF16 è un vacuometro piezoresistivo economico progettato per la misurazione di precisione a basso vuoto nei sistemi di gas industriali. Costruito con un sensore piezoresistivo al silicio come elemento sensibile centrale, questo dispositivo adotta il rilevamento diretto della pressione tramite una connessione per vuoto KF16 , fornendo segnali di uscita analogici (0-5 V CC/0-10 V CC/4-20 mA) che mantengono una stretta proporzionalità con la pressione misurata, indipendentemente dal tipo o dalla composizione dei gas di processo . Il suo chip di silicio diffuso interno è incapsulato ermeticamente in un diaframma e una cavità in acciaio inossidabile 316L , abbinato a un circuito stampato dedicato personalizzato per compattezza, prestazioni stabili e affidabilità a lungo termine. L'HPM10V è dotato di compensazione della temperatura calibrata in fabbrica, un ampio intervallo di temperature operative (-40~100℃) e grado di protezione IP65, che lo rendono una soluzione robusta per gli utenti industriali che richiedono misurazioni accurate del vuoto in ambienti gassosi complessi. Con intervalli di pressione assoluta nominale da 0,2 kPa a 100 kPa (da 2 mbar a 1.000 mbar) e capacità di sovraccarico fino a 1.000 kPa, bilancia precisione e durata per il funzionamento industriale continuo.

Misurazione del sistema di vuoto con trasmettitore di pressione assoluta KF16

Vantaggi principali

Rilevamento indipendente dal gas : le misurazioni rimangono accurate indipendentemente dal tipo/composizione del gas di processo, eliminando le regolazioni della calibrazione per i cambi di gas e riducendo i tempi di inattività operativa per gli impianti industriali.

Precisione di misurazione superiore : fornisce una precisione tipica di ±0,25%FS (±0,1%FS opzionale per P≥35kPaA), conforme agli standard IEC 60770 per non linearità, isteresi e ripetibilità, fondamentali per i processi di vuoto ad alta precisione.

Eccezionale stabilità a lungo termine : vanta una stabilità di ±0,30%FS/anno per pressioni ≤35kPa e ±0,20%FS/anno per >35kPa, riducendo al minimo le esigenze di ricalibrazione e abbassando i costi di manutenzione per i gestori degli impianti industriali.

Design industriale robusto : la struttura in acciaio inossidabile 316L, l'ampia tolleranza alla temperatura e la protezione IP65 garantiscono prestazioni affidabili in ambienti industriali difficili, compresi ambienti ad alta temperatura e polverosi.

Risposta rapida e bassa isteresi : consente il monitoraggio della pressione in tempo reale per processi di vuoto dinamici, come l'incisione al plasma e il confezionamento sotto vuoto, migliorando l'efficienza del controllo del processo.

Applicazioni industriali del trasmettitore di pressione industriale

Questo vacuometro piezoresistivo è progettato su misura per gli utenti industriali nei settori dipendenti dal vuoto, con applicazioni principali tra cui:

Produzione di semiconduttori : fondamentale per le apparecchiature di processo di incisione al plasma, dove il controllo preciso del basso vuoto garantisce la qualità e la resa della lavorazione dei wafer.

Industria del confezionamento sottovuoto : consente un monitoraggio accurato della pressione per la sigillatura sottovuoto di alimenti, dispositivi elettronici e dispositivi medici, preservando l'integrità del prodotto e la durata di conservazione.

Strutture di laboratorio e di ricerca e sviluppo : ideali per la ricerca sul vuoto e le configurazioni sperimentali, a supporto della ricerca accademica e industriale sulla dinamica dei gas e sulla scienza dei materiali.

Applicazioni industriali generali del vuoto : adatte per forni a vuoto, apparecchiature di rivestimento sotto vuoto e altri sistemi industriali a basso vuoto che richiedono una misurazione costante della pressione.

Test di componenti aerospaziali e automobilistici : fornisce dati affidabili sul vuoto per test sulle prestazioni dei componenti in condizioni di bassa pressione, garantendo la conformità del prodotto agli standard industriali.

FAQ

L"HPM10V può essere utilizzato con gas industriali corrosivi?

Sì, è compatibile con vari gas compatibili con l'acciaio inossidabile 316L , il materiale di contatto. Per i gas altamente corrosivi, sono disponibili su richiesta opzioni di materiali personalizzati per utenti industriali con esigenze specializzate.

Quali interfacce del vuoto supporta l"HPM10V oltre a KF16?

Oltre alla connessione KF16 standard , supporta CF, VCR e altre interfacce standard del settore del vuoto, con opzioni di interfaccia personalizzate disponibili per soddisfare i requisiti specifici delle apparecchiature industriali.


Intervallo di misurazione

Assoluto (kpa)

Pressione nominale

0.2

0.5

1

2

5

10

20

100

Sovraccarico

200

200

200

200

400

400

600

1000

Assoluto (torr)

Pressione nominale

2

5

10

20

50

100

200

1000

Sovraccarico

2000

2000

2000

2000

4000

4000

6000

10000

Assoluto (mbar)

Pressione nominale

2

5

10

20

50

100

200

1000

Sovraccarico

2000

2000

2000

2000

4000

4000

6000

10000

NOTA: per altre gamme di misurazione, contattaci.

Misurazione mezzo

Tipo

Vari gas compatibili con i materiali di contatto

Segnale di uscita/alimentazione

Standard

4 ~ 20Ma      / vs = 10 ~ 30 V DC

Standard

0 ~ 5vdc      /vs=8.5~30 V DC

Standard

0 ~ 10VDC    /VS = 12 ~ 30 V DC

Standard

Rs485       /vs = 10 ~ 30 V DC

Prestazione

Precisione

± 0,25%fs (tipico)

± 0,1%fs (opzionale) * solo per l'intervallo p≥35kpaa

Stabilità a lungo termine

± 0,30%fs/anno, ≤35kpa

± 0,20%fs/anno,> 35kpa

*La precisione è conforme a IEC 60770 (non linearità, isteresi, ripetibilità)

Condizioni dell'ambiente

Intervallo di temperatura

Temperatura di lavoro: -40 ~ 100 ℃

Temperatura ambiente: -30 ~ 85 ℃

Temperatura di conservazione: -30 ~ 85 ℃

Grado di protezione

IP65

Deriva della temperatura


Temperatura di compensazione

0 ~ 70 ℃, ≤35kpa;  -10 ~ 80 ℃,> 35kpa

Deriva della temperatura del punto zero

± 1,0%FS (entro la temperatura di compensazione)

Drift di temperatura di tutta scala

± 1,0%FS (entro la temperatura di compensazione)


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