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Collegamento KF16 HPM18V Capacitance Gassazione KF16, trasmettitore a pressione assoluta

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Panoramica

L'HPM18V è un manometro per vuoto avanzato, noto anche come misuratore di pellicola capacitivo (CDG), progettato per una misurazione precisa della pressione in varie applicazioni. Questo prodotto innovativo utilizza un sensore capacitivo ceramico come elemento sensibile, garantendo letture di pressione dirette e accurate attraverso una connessione a vuoto.

  • Segnali di uscita analogici: HPM18V fornisce opzioni di uscita analogiche come 0-5 V o 0-10 V DC, che sono direttamente proporzionali alla pressione misurata. Questo output è stabile e non influenzato dal tipo o dalla composizione del gas di processo, garantendo dati affidabili in ambienti diversi.

  • Costruzione durevole: il sensore ceramico offre caratteristiche eccezionali, tra cui elevata elasticità, resistenza all'usura e resistenza alla corrosione. Queste proprietà contribuiscono alla lunga durata del calibro e all'affidabilità in condizioni impegnative.

  • Stabilità termica: la progettazione di HPM18V garantisce un'eccellente stabilità termica e una deriva della temperatura minima, consentendo prestazioni costanti anche in condizioni di temperatura variabili.

Applicazione

  • Applicazione del vuoto

  • Laboratorio, ricerca e sviluppo

  • Industria dei semiconduttori

  • Imballaggio a vuoto

  • Apparecchiatura di processo di incisione al plasma

Caratteristiche

  • Principio del film di condensatore

  • Alta precisione e buona stabilità

  • Ha una buona capacità anti-sovraccarico

  • Il rilevamento non è influenzato dal tipo di gas e dalla composizione

  • Risposta rapida e piccola isteresi

  • Nella misurazione della pressione diretta, il segnale di uscita analogico è proporzionale alla pressione misurata

  • Supportare varie interfacce di pressione, KF, CF, VCR, ecc. Nell'industria del vuoto



Intervallo di pressione

0 ~ 2Torr… 1000Torr

Misurazione mezzo

Vari gas compatibili con i materiali di contatto

Intervallo di pressione

0 ~ 2Torr… 1000Torr

Precisione

± 0,1%fs, ± 0,25%fs, ± 0,5%fs (soggetto a intervallo di misurazione)

Temperatura di lavoro

-40 ~ 85 ℃

Tensione di alimentazione

10 ~ 30VDC; 8,5 ~ 30 VDC; 12 ~ 30VDC; 10 ~ 30VDC (soggetto a output)

Segnale di uscita

4 ~ 20MADC, tensione, rs485



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