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Collegamento KF16 HPM18V Capacitance Gassazione KF16, trasmettitore a pressione assoluta

Collegamento KF16 HPM18V Capacitance Gassazione KF16, trasmettitore a pressione assoluta

Il misuratore di capacità a membrana HPM18V è un vacuometro ad alta precisione per la misurazione del vuoto medio e basso, che offre intervalli da 0,2 a 100 kPa, precisione fino a ±0,1% FS e uscita 4–20 mA, 0–10 V CC o RS485. Dotato di un sensore capacitivo ceramico, fornisce una misurazione diretta della pressione non influenzata dalla composizione del gas, con eccellente stabilità, risposta rapida e prestazioni affidabili in applicazioni di semiconduttori, laboratorio, confezionamento sottovuoto e processi al plasma.

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HPM18V Capacitance Vacuum Gauge - V26.1.2.pdf

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Indicatore di capacità a membrana HPM18V

Articolo	Specifica
Nome del prodotto	Indicatore di capacità a membrana HPM18V
Tipo di prodotto	Calibro capacitivo della pellicola (CDG) / Vacuometro
Principio di misurazione	Principio del film di condensatore
Elemento sensore	Sensore capacitivo ceramico
Intervallo di misurazione	0,2 / 0,5 / 1 / 2 / 5 / 10 / 20 / 100 kPa
	2 / 5 / 10 / 20 / 50 / 100 / 200 / 1000 Torr
	2 / 5 / 10 / 20 / 50 / 100 / 200 / 1000 mbar
Segnale di uscita/alimentazione	4~20 mA / Vs=10~30 V CC
	0~5 VCC / Vs=8,5~30 VCC
	0~10 VCC / Vs=12~30 VCC
	RS485 / Vs=10~30 VCC
Precisione	±0,1%FS (20kPa, 100kPa)
	±0,25%FS (5kPa, 10kPa)
	±0,5%FS (500Pa, 1kPa, 2kPa)
	±1,5%FS (200Pa)
Stabilità a lungo termine	±0,50%FS/anno per ≤1kPa
Stabilità a lungo termine	±0,25%FS/anno per >1kPa
Temperatura operativa	-40~125°C
	+125°Cmassimo. 120 minuti
Temperatura ambiente	-30~85°C
Temperatura di conservazione	-30~85°C

Panoramica del misuratore a membrana di capacità HPM18V

HPM18V è un vacuometro capacitivo, chiamato anche vacuometro capacitivo a film sottile (CDG). Questo prodotto utilizza un sensore capacitivo ceramico come elemento sensibile e misura direttamente la pressione utilizzando una connessione a vuoto. I suoi segnali di uscita analogici come 0-5 o 0-10 VCC sono proporzionali alla pressione misurata e non sono influenzati dal tipo e dalla composizione del gas di processo. La ceramica ha le caratteristiche di elevata elasticità, resistenza all'usura, resistenza alla corrosione e rapida dissipazione del calore, che rendono il vacuometro dotato di ottima stabilità termica e bassa deriva termica.

Il vacuometro capacitivo HPM18V ha un'elevata precisione di misurazione, un'eccellente resistenza alla sovrapressione e un'eccellente stabilità a lungo termine. Il suo sensore ceramico resistente alla corrosione è compensato in temperatura, ha un ampio intervallo di temperature operative e ha una buona stabilità del punto zero. Il vacuometro è compatto nelle dimensioni complessive, facile da usare e affidabile ed è adatto per la misurazione accurata del vuoto medio e basso con composizione di gas complessa.

Applicazione

Applicazione del vuoto
Laboratorio, ricerca e sviluppo
Industria dei semiconduttori
Imballaggio a vuoto
Apparecchiatura di processo di incisione al plasma

Caratteristiche

Principio del film di condensatore
Alta precisione e buona stabilità
Ha un'eccellente capacità anti-sovraccarico
Il rilevamento non è influenzato dal tipo di gas e dalla composizione
Risposta rapida e piccola isteresi
Misurazione della pressione diretta, il segnale di uscita analogico è proporzionale alla pressione misurata
Supportare varie interfacce di pressione KF, CF, VCR, ecc. Nell'industria del vuoto

Principio di misurazione

Il vacuometro capacitivo, chiamato anche vacuometro capacitivo a film, funziona in base al principio della variazione di capacità ed è costituito da una parte di rilevamento e da un circuito di conversione. ~!phoenix_varIMG53!~

L'immagine sopra è un diagramma schematico della parte di rilevamento. La parte di rilevamento ha due camere, la camera del vuoto e la camera di rilevamento. La camera a vuoto è una struttura completamente sigillata. Dopo aver superato il rilevamento delle perdite da parte del rilevatore di perdite dello spettrometro di massa dell'elio, viene scaricato per un lungo periodo e infine il tubo di scarico viene sigillato per mantenere un vuoto elevato a lungo termine. La piastra fissa dell'elettrodo si trova nella camera a vuoto ed è condotta fuori dalla camera a vuoto tramite il filo conduttore dell'elettrodo. Il diaframma di rilevamento viene posizionato tra la camera ad alto vuoto e la camera di rilevamento del sistema a basso vuoto da testare. Il diaframma di rilevamento è una piastra mobile, che forma con la piastra fissa un condensatore piatto. Il basso livello di vuoto misurato entra nella camera di rilevamento attraverso il foro di rilevamento e il diaframma di rilevamento si flette, modificando la sua distanza dalla piastra fissa, e anche il valore della capacità cambia di conseguenza. Diverse basse pressioni di vuoto determinano diversi valori di capacità.

Il segnale di capacità formato dalla parte di rilevamento viene inviato alla parte di conversione del circuito. La parte di conversione del circuito converte il segnale di capacità attraverso trasformazione, smistamento, amplificazione e conversione e infine emette un segnale di tensione o corrente standard. Questo segnale elettrico standard deriva dal segnale capacitivo ed è proporzionale alla pressione del vuoto.

Etichette del diagramma schematico

Getter
Camera a vuoto
Piastra uscita cavo
Tubo di sfiato
Sigillatura dopo lo scarico
Tavola fissa
Diaframma di rilevamento
Camera di rilevamento
Foro di rilevamento

Materiale della struttura

Codice d'ordine	Materiali	delle parti
S4	Interfaccia di pressione	SS304
S6	Interfaccia di pressione	SS316L
PE	Interfaccia di pressione	SBIRCIARE
M6	Sensore	Ceramica Al2O3 99,9%
F.K	O-ring	FKM Gomma fluorurata
NB	O-ring	NBR Nitrile

Disegni della struttura

Tubo con diametro esterno di 1/2'.
Tubo con diametro esterno di 1/4'.
DN 16 ISO-KF
8 VCR, filettatura femmina
4 VCR, filettatura maschio e 8 VCR, filettatura maschio
4 Videoregistratore, filettatura femmina
M20X1,5

Collegamento elettrico

Hirschmann/DIN43650 / M12×1-4P / Uscita cavo / M12x1-4P con cavo

Uscita di corrente a due fili 4~20mA

	Alimentazione+ (+V)	Alimentazione- (0V/+OUT)	Vuoto
Hirschmann/DIN43650	1	2	3, 4
Outlet cavo	Red	Nero	-
M12×1	1	2	3,4
M12×1 (con cavo)	Marrone	Nero	Blu, bianco

Uscita di tensione a tre fili 0~5V/10V

	Alimentazione+(+V)	Terra comune (GND)	Uscita(+OUT)	Vuoto
Hirschmann/DIN43650	1	2	3	4
Outlet cavo	Red	Nero	Blu	-
M12×1	1	2	3	4
M12×1 (con cavo)	Marrone	Nero	Blu	Bianco

Modbus-RTU/RS485 a quattro fili

	Alimentazione+(+V)	Alimentazione-(-V)	RS485A	RS485B
Hirschmann/DIN43650	1	2	3	4
Outlet cavo	Red	Nero	Giallo	Verde
M12×1,4P	1	2	3	4
M12×1 (con cavo)	Marrone	Nero	Blu	Bianco

Descrizione

Parametri tecnici

Indicatore di capacità a membrana HPM18V

Articolo	Specifica
Nome del prodotto	Indicatore di capacità a membrana HPM18V
Tipo di prodotto	Calibro capacitivo della pellicola (CDG) / Vacuometro
Principio di misurazione	Principio del film di condensatore
Elemento sensore	Sensore capacitivo ceramico
Intervallo di misurazione	0,2 / 0,5 / 1 / 2 / 5 / 10 / 20 / 100 kPa
	2 / 5 / 10 / 20 / 50 / 100 / 200 / 1000 Torr
	2 / 5 / 10 / 20 / 50 / 100 / 200 / 1000 mbar
Segnale di uscita/alimentazione	4~20 mA / Vs=10~30 V CC
	0~5 VCC / Vs=8,5~30 VCC
	0~10 VCC / Vs=12~30 VCC
	RS485 / Vs=10~30 VCC
Precisione	±0,1%FS (20kPa, 100kPa)
	±0,25%FS (5kPa, 10kPa)
	±0,5%FS (500Pa, 1kPa, 2kPa)
	±1,5%FS (200Pa)
Stabilità a lungo termine	±0,50%FS/anno per ≤1kPa
Stabilità a lungo termine	±0,25%FS/anno per >1kPa
Temperatura operativa	-40~125°C
	+125°Cmassimo. 120 minuti
Temperatura ambiente	-30~85°C
Temperatura di conservazione	-30~85°C

Panoramica del misuratore a membrana di capacità HPM18V

HPM18V è un vacuometro capacitivo, chiamato anche vacuometro capacitivo a film sottile (CDG). Questo prodotto utilizza un sensore capacitivo ceramico come elemento sensibile e misura direttamente la pressione utilizzando una connessione a vuoto. I suoi segnali di uscita analogici come 0-5 o 0-10 VCC sono proporzionali alla pressione misurata e non sono influenzati dal tipo e dalla composizione del gas di processo. La ceramica ha le caratteristiche di elevata elasticità, resistenza all'usura, resistenza alla corrosione e rapida dissipazione del calore, che rendono il vacuometro dotato di ottima stabilità termica e bassa deriva termica.

Il vacuometro capacitivo HPM18V ha un'elevata precisione di misurazione, un'eccellente resistenza alla sovrapressione e un'eccellente stabilità a lungo termine. Il suo sensore ceramico resistente alla corrosione è compensato in temperatura, ha un ampio intervallo di temperature operative e ha una buona stabilità del punto zero. Il vacuometro è compatto nelle dimensioni complessive, facile da usare e affidabile ed è adatto per la misurazione accurata del vuoto medio e basso con composizione di gas complessa.

Applicazione

Applicazione del vuoto
Laboratorio, ricerca e sviluppo
Industria dei semiconduttori
Imballaggio a vuoto
Apparecchiatura di processo di incisione al plasma

Caratteristiche

Principio del film di condensatore
Alta precisione e buona stabilità
Ha un'eccellente capacità anti-sovraccarico
Il rilevamento non è influenzato dal tipo di gas e dalla composizione
Risposta rapida e piccola isteresi
Misurazione della pressione diretta, il segnale di uscita analogico è proporzionale alla pressione misurata
Supportare varie interfacce di pressione KF, CF, VCR, ecc. Nell'industria del vuoto

Principio di misurazione

Il vacuometro capacitivo, chiamato anche vacuometro capacitivo a film, funziona in base al principio della variazione di capacità ed è costituito da una parte di rilevamento e da un circuito di conversione. ~!phoenix_varIMG53!~

L'immagine sopra è un diagramma schematico della parte di rilevamento. La parte di rilevamento ha due camere, la camera del vuoto e la camera di rilevamento. La camera a vuoto è una struttura completamente sigillata. Dopo aver superato il rilevamento delle perdite da parte del rilevatore di perdite dello spettrometro di massa dell'elio, viene scaricato per un lungo periodo e infine il tubo di scarico viene sigillato per mantenere un vuoto elevato a lungo termine. La piastra fissa dell'elettrodo si trova nella camera a vuoto ed è condotta fuori dalla camera a vuoto tramite il filo conduttore dell'elettrodo. Il diaframma di rilevamento viene posizionato tra la camera ad alto vuoto e la camera di rilevamento del sistema a basso vuoto da testare. Il diaframma di rilevamento è una piastra mobile, che forma con la piastra fissa un condensatore piatto. Il basso livello di vuoto misurato entra nella camera di rilevamento attraverso il foro di rilevamento e il diaframma di rilevamento si flette, modificando la sua distanza dalla piastra fissa, e anche il valore della capacità cambia di conseguenza. Diverse basse pressioni di vuoto determinano diversi valori di capacità.

Il segnale di capacità formato dalla parte di rilevamento viene inviato alla parte di conversione del circuito. La parte di conversione del circuito converte il segnale di capacità attraverso trasformazione, smistamento, amplificazione e conversione e infine emette un segnale di tensione o corrente standard. Questo segnale elettrico standard deriva dal segnale capacitivo ed è proporzionale alla pressione del vuoto.

Etichette del diagramma schematico

Getter
Camera a vuoto
Piastra uscita cavo
Tubo di sfiato
Sigillatura dopo lo scarico
Tavola fissa
Diaframma di rilevamento
Camera di rilevamento
Foro di rilevamento

Materiale della struttura

Codice d'ordine	Materiali	delle parti
S4	Interfaccia di pressione	SS304
S6	Interfaccia di pressione	SS316L
PE	Interfaccia di pressione	SBIRCIARE
M6	Sensore	Ceramica Al2O3 99,9%
F.K	O-ring	FKM Gomma fluorurata
NB	O-ring	NBR Nitrile

Disegni della struttura

Tubo con diametro esterno di 1/2'.
Tubo con diametro esterno di 1/4'.
DN 16 ISO-KF
8 VCR, filettatura femmina
4 VCR, filettatura maschio e 8 VCR, filettatura maschio
4 Videoregistratore, filettatura femmina
M20X1,5

Collegamento elettrico

Hirschmann/DIN43650 / M12×1-4P / Uscita cavo / M12x1-4P con cavo

Uscita di corrente a due fili 4~20mA

	Alimentazione+ (+V)	Alimentazione- (0V/+OUT)	Vuoto
Hirschmann/DIN43650	1	2	3, 4
Outlet cavo	Red	Nero	-
M12×1	1	2	3,4
M12×1 (con cavo)	Marrone	Nero	Blu, bianco

Uscita di tensione a tre fili 0~5V/10V

	Alimentazione+(+V)	Terra comune (GND)	Uscita(+OUT)	Vuoto
Hirschmann/DIN43650	1	2	3	4
Outlet cavo	Red	Nero	Blu	-
M12×1	1	2	3	4
M12×1 (con cavo)	Marrone	Nero	Blu	Bianco

Modbus-RTU/RS485 a quattro fili

	Alimentazione+(+V)	Alimentazione-(-V)	RS485A	RS485B
Hirschmann/DIN43650	1	2	3	4
Outlet cavo	Red	Nero	Giallo	Verde
M12×1,4P	1	2	3	4
M12×1 (con cavo)	Marrone	Nero	Blu	Bianco

Intervallo di misurazione
Assoluto (kPa)	Pressione nominale		0.2	0.5	1	2	5	10	20	100
	Sovraccarico		350	350	350	350	400	400	600	1000
Assoluto (Torre)	Pressione nominale		2	5	10	20	50	100	200	1000
	Sovraccarico		2600	2600	2600	2600	3000	3000	4500	7500
Assoluto (mbar)	Pressione nominale		2	5	10	20	50	100	200	1000
	Sovraccarico		3500	3500	3500	3500	4000	4000	6000	10000
Nota: per altri campi di misura vi preghiamo di contattarci.
Misurazione mezzo
Tipo		Vari gas compatibili con i materiali di contatto
Segnale di uscita/alimentazione
Standard			4~20mA / Vs=10~30 V _CC(Se dispone di un display, Vs = 13~30 V _CC)
Standard			0~5 V CC /Vs=10 ~ 30 V _CC
Standard			0 ~ 10VDC /VS = 12 ~ 30 V _DC
Standard			RS485 /Vs=8~30 V _CC
Prestazione
Precisione			±0,1%FS (20kPa,100kPa) ±0,25%FS (5kPa,10kPa) ±0,5%FS (500Pa,1kPa,2KPa) ±1,5%FS (200Pa)
Stabilità a lungo termine			±0,50%FS/anno, ≤1kPa ±0,25%FS/anno, >1kPa
*La precisione è conforme a IEC 60770 (non linearità, isteresi, ripetibilità)
Condizioni ambientali
Intervallo di temperatura			Temperatura di funzionamento: -40~125℃ (max 120 minuti a +125°C) Temperatura ambiente: -30 ~ 85 ℃ Temperatura di conservazione: -30 ~ 85 ℃
Grado di protezione			IP65, DIN43650/Hirschmann (C1) IP66, Uscita cavo (C2), M12×1 (C5), M12×1 con cavo (C5X) IP68, Uscita cavo (C2P)
Deriva della temperatura
Temperatura di compensazione			-20 ~ 80 ℃
Deriva della temperatura del punto zero			±1,5%FS (entro la temperatura di compensazione)
Drift di temperatura di tutta scala			±1,5%FS (entro la temperatura di compensazione)