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HPM10V è un manometro piezoresistivo. Utilizza un sensore piezoresistivo in silicio come elemento sensibile e misura direttamente la pressione usando una connessione a vuoto. I suoi segnali di uscita analogici come 0-5 o 0-10 VDC sono proporzionali alla pressione misurata e non sono influenzati dal tipo e dalla composizione del gas di processo. Il chip di silicio diffuso all'interno del sensore è incapsulato da un diaframma e cavità da 316L in acciaio inossidabile. Un circuito dedicato appositamente sviluppato garantisce prestazioni stabili e affidabili e un aspetto compatto. Il manometro piezoresistivo HPM10V ha un'elevata precisione di misurazione e un'eccellente stabilità a lungo termine. Il sensore piezoresistivo di silicio di alta qualità interno è compensato dalla temperatura e ha un ampio intervallo di temperatura di funzionamento. L'indicatore del vuoto è piccolo di dimensioni complessive, facile da usare e affidabile ed è adatto per una misurazione a bassa precisione del vuoto di composizioni di gas complesse.
HPM10V è un manometro piezoresistivo. Utilizza un sensore piezoresistivo in silicio come elemento sensibile e misura direttamente la pressione usando una connessione a vuoto. I suoi segnali di uscita analogici come 0-5 o 0-10 VDC sono proporzionali alla pressione misurata e non sono influenzati dal tipo e dalla composizione del gas di processo. Il chip di silicio diffuso all'interno del sensore è incapsulato da un diaframma e cavità da 316L in acciaio inossidabile. Un circuito dedicato appositamente sviluppato garantisce prestazioni stabili e affidabili e un aspetto compatto. Il manometro piezoresistivo HPM10V ha un'elevata precisione di misurazione e un'eccellente stabilità a lungo termine. Il sensore piezoresistivo di silicio di alta qualità interno è compensato dalla temperatura e ha un ampio intervallo di temperatura di funzionamento. L'indicatore del vuoto è piccolo di dimensioni complessive, facile da usare e affidabile ed è adatto per una misurazione a bassa precisione del vuoto di composizioni di gas complesse.
Applicazione
Applicazione del vuoto
Laboratorio, ricerca e sviluppo
Industria dei semiconduttori
Imballaggio a vuoto
Apparecchiatura di processo di incisione al plasma
Applicazione
Applicazione del vuoto
Laboratorio, ricerca e sviluppo
Industria dei semiconduttori
Imballaggio a vuoto
Apparecchiatura di processo di incisione al plasma
Caratteristiche
Principio piezoresistico del silicio
Alta precisione e buona stabilità
Il rilevamento non è influenzato dal tipo di gas e dalla composizione
Risposta rapida e bassa isteresi
Misurazione della pressione diretta, il segnale di uscita analogico è proporzionale alla pressione misurata
SUPPORTA VARIE INFORMAZIONI DI PRESSIONE KF, CF, VCR, ecc. Nell'industria del vuoto
Caratteristiche
Principio piezoresistico del silicio
Alta precisione e buona stabilità
Il rilevamento non è influenzato dal tipo di gas e dalla composizione
Risposta rapida e bassa isteresi
Misurazione della pressione diretta, il segnale di uscita analogico è proporzionale alla pressione misurata
SUPPORTA VARIE INFORMAZIONI DI PRESSIONE KF, CF, VCR, ecc. Nell'industria del vuoto
Parametri tecnici
Intervallo di misurazione | |||||||||
Assoluto (kpa) | Pressione nominale | 0.2 | 0.5 | 1 | 2 | 5 | 10 | 20 | 100 |
Sovraccarico | 200 | 200 | 200 | 200 | 400 | 400 | 600 | 1000 | |
Assoluto (torr) | Pressione nominale | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sovraccarico | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Assoluto (mbar) | Pressione nominale | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sovraccarico | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
NOTA: per altre gamme di misurazione, contattaci. |
Misurazione mezzo | ||||
Tipo | Vari gas compatibili con i materiali di contatto | |||
Segnale di uscita/alimentazione | ||||
Standard | 4 ~ 20Ma / vs = 10 ~ 30 V DC | |||
Standard | 0 ~ 5vdc /vs=8.5~30 V DC | |||
Standard | 0 ~ 10VDC /VS = 12 ~ 30 V DC | |||
Standard | Rs485 /vs = 10 ~ 30 V DC | |||
Prestazione | ||||
Precisione | ± 0,25%fs (tipico) ± 0,1%fs (opzionale) * solo per l'intervallo p≥35kpaa | |||
Stabilità a lungo termine | ± 0,30%fs/anno, ≤35kpa ± 0,20%fs/anno,> 35kpa | |||
*La precisione è conforme a IEC 60770 (non linearità, isteresi, ripetibilità) | ||||
Condizioni dell'ambiente | ||||
Intervallo di temperatura | Temperatura di lavoro: -40 ~ 100 ℃ Temperatura ambiente: -30 ~ 85 ℃ Temperatura di conservazione: -30 ~ 85 ℃ | |||
Grado di protezione | IP65 | |||
Deriva della temperatura | ||||
Temperatura di compensazione | 0 ~ 70 ℃, ≤35kpa; -10 ~ 80 ℃,> 35kpa | |||
Deriva della temperatura del punto zero | ± 1,0%FS (entro la temperatura di compensazione) | |||
Drift di temperatura di tutta scala | ± 1,0%FS (entro la temperatura di compensazione) |
Parametri tecnici
Intervallo di misurazione | |||||||||
Assoluto (kpa) | Pressione nominale | 0.2 | 0.5 | 1 | 2 | 5 | 10 | 20 | 100 |
Sovraccarico | 200 | 200 | 200 | 200 | 400 | 400 | 600 | 1000 | |
Assoluto (torr) | Pressione nominale | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sovraccarico | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Assoluto (mbar) | Pressione nominale | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sovraccarico | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
NOTA: per altre gamme di misurazione, contattaci. |
Misurazione mezzo | ||||
Tipo | Vari gas compatibili con i materiali di contatto | |||
Segnale di uscita/alimentazione | ||||
Standard | 4 ~ 20Ma / vs = 10 ~ 30 V DC | |||
Standard | 0 ~ 5vdc /vs=8.5~30 V DC | |||
Standard | 0 ~ 10VDC /VS = 12 ~ 30 V DC | |||
Standard | Rs485 /vs = 10 ~ 30 V DC | |||
Prestazione | ||||
Precisione | ± 0,25%fs (tipico) ± 0,1%fs (opzionale) * solo per l'intervallo p≥35kpaa | |||
Stabilità a lungo termine | ± 0,30%fs/anno, ≤35kpa ± 0,20%fs/anno,> 35kpa | |||
*La precisione è conforme a IEC 60770 (non linearità, isteresi, ripetibilità) | ||||
Condizioni dell'ambiente | ||||
Intervallo di temperatura | Temperatura di lavoro: -40 ~ 100 ℃ Temperatura ambiente: -30 ~ 85 ℃ Temperatura di conservazione: -30 ~ 85 ℃ | |||
Grado di protezione | IP65 | |||
Deriva della temperatura | ||||
Temperatura di compensazione | 0 ~ 70 ℃, ≤35kpa; -10 ~ 80 ℃,> 35kpa | |||
Deriva della temperatura del punto zero | ± 1,0%FS (entro la temperatura di compensazione) | |||
Drift di temperatura di tutta scala | ± 1,0%FS (entro la temperatura di compensazione) |
HPM10V è un manometro piezoresistivo. Utilizza un sensore piezoresistivo in silicio come elemento sensibile e misura direttamente la pressione usando una connessione a vuoto. I suoi segnali di uscita analogici come 0-5 o 0-10 VDC sono proporzionali alla pressione misurata e non sono influenzati dal tipo e dalla composizione del gas di processo. Il chip di silicio diffuso all'interno del sensore è incapsulato da un diaframma e cavità da 316L in acciaio inossidabile. Un circuito dedicato appositamente sviluppato garantisce prestazioni stabili e affidabili e un aspetto compatto. Il manometro piezoresistivo HPM10V ha un'elevata precisione di misurazione e un'eccellente stabilità a lungo termine. Il sensore piezoresistivo di silicio di alta qualità interno è compensato dalla temperatura e ha un ampio intervallo di temperatura di funzionamento. L'indicatore del vuoto è piccolo di dimensioni complessive, facile da usare e affidabile ed è adatto per una misurazione a bassa precisione del vuoto di composizioni di gas complesse.
Applicazione
Applicazione del vuoto
Laboratorio, ricerca e sviluppo
Industria dei semiconduttori
Imballaggio a vuoto
Apparecchiatura di processo di incisione al plasma
Caratteristiche
Principio piezoresistico del silicio
Alta precisione e buona stabilità
Il rilevamento non è influenzato dal tipo di gas e dalla composizione
Risposta rapida e bassa isteresi
Misurazione della pressione diretta, il segnale di uscita analogico è proporzionale alla pressione misurata
SUPPORTA VARIE INFORMAZIONI DI PRESSIONE KF, CF, VCR, ecc. Nell'industria del vuoto
Parametri tecnici
Intervallo di misurazione | |||||||||
Assoluto (kpa) | Pressione nominale | 0.2 | 0.5 | 1 | 2 | 5 | 10 | 20 | 100 |
Sovraccarico | 200 | 200 | 200 | 200 | 400 | 400 | 600 | 1000 | |
Assoluto (torr) | Pressione nominale | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sovraccarico | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Assoluto (mbar) | Pressione nominale | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sovraccarico | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
NOTA: per altre gamme di misurazione, contattaci. |
Misurazione mezzo | ||||
Tipo | Vari gas compatibili con i materiali di contatto | |||
Segnale di uscita/alimentazione | ||||
Standard | 4 ~ 20Ma / vs = 10 ~ 30 V DC | |||
Standard | 0 ~ 5vdc /vs=8.5~30 V DC | |||
Standard | 0 ~ 10VDC /VS = 12 ~ 30 V DC | |||
Standard | Rs485 /vs = 10 ~ 30 V DC | |||
Prestazione | ||||
Precisione | ± 0,25%fs (tipico) ± 0,1%fs (opzionale) * solo per l'intervallo p≥35kpaa | |||
Stabilità a lungo termine | ± 0,30%fs/anno, ≤35kpa ± 0,20%fs/anno,> 35kpa | |||
*La precisione è conforme a IEC 60770 (non linearità, isteresi, ripetibilità) | ||||
Condizioni dell'ambiente | ||||
Intervallo di temperatura | Temperatura di lavoro: -40 ~ 100 ℃ Temperatura ambiente: -30 ~ 85 ℃ Temperatura di conservazione: -30 ~ 85 ℃ | |||
Grado di protezione | IP65 | |||
Deriva della temperatura | ||||
Temperatura di compensazione | 0 ~ 70 ℃, ≤35kpa; -10 ~ 80 ℃,> 35kpa | |||
Deriva della temperatura del punto zero | ± 1,0%FS (entro la temperatura di compensazione) | |||
Drift di temperatura di tutta scala | ± 1,0%FS (entro la temperatura di compensazione) |