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HPM18LV Trasmettitore di pressione del vuoto assoluto con capacità 0-10 V Connettore KF, CF e VCR

HPM18LV Trasmettitore di pressione del vuoto assoluto con capacità 0-10 V Connettore KF, CF e VCR

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Panoramica

HPM18LV è un vacuometro capacitivo, noto anche come vacuometro capacitivo a film sottile (CDG). Questo prodotto utilizza un sensore capacitivo ceramico come elemento di rilevamento e misura direttamente la pressione tramite una connessione a vuoto. Il segnale di uscita analogico 0-10 VCC è proporzionale alla pressione misurata e non è influenzato dal tipo e dalla composizione del gas di processo. I materiali ceramici possiedono elevata elasticità, resistenza all'usura, resistenza alla corrosione e rapida dissipazione del calore, conferendo a questo vacuometro un'eccellente stabilità termica e una deriva a bassa temperatura.

Applicazione

Applicazione del vuoto
Laboratorio e ricerca e sviluppo+
Industria dei semiconduttori
Imballaggio a vuoto
Apparecchiatura di processo di incisione al plasma

Caratteristiche

Principio capacitivo del film sottile
Alta precisione e buona stabilità
Eccellente resistenza al sovraccarico
Il rilevamento non è influenzato dal tipo e dalla composizione del gas
Risposta rapida e bassa isteresi
Misurazione diretta della pressione: il segnale di uscita analogico è proporzionale alla pressione misurata
Supporta varie interfacce di pressione nel settore del vuoto, come KF, CF e VCR

Descrizione

Parametri tecnici

Panoramica

HPM18LV è un vacuometro capacitivo, noto anche come vacuometro capacitivo a film sottile (CDG). Questo prodotto utilizza un sensore capacitivo ceramico come elemento di rilevamento e misura direttamente la pressione tramite una connessione a vuoto. Il segnale di uscita analogico 0-10 VCC è proporzionale alla pressione misurata e non è influenzato dal tipo e dalla composizione del gas di processo. I materiali ceramici possiedono elevata elasticità, resistenza all'usura, resistenza alla corrosione e rapida dissipazione del calore, conferendo a questo vacuometro un'eccellente stabilità termica e una deriva a bassa temperatura.

Applicazione

Applicazione del vuoto
Laboratorio e ricerca e sviluppo+
Industria dei semiconduttori
Imballaggio a vuoto
Apparecchiatura di processo di incisione al plasma

Caratteristiche

Principio capacitivo del film sottile
Alta precisione e buona stabilità
Eccellente resistenza al sovraccarico
Il rilevamento non è influenzato dal tipo e dalla composizione del gas
Risposta rapida e bassa isteresi
Misurazione diretta della pressione: il segnale di uscita analogico è proporzionale alla pressione misurata
Supporta varie interfacce di pressione nel settore del vuoto, come KF, CF e VCR

Intervallo di misurazione
Assoluto (kPa)	Pressione nominale	0.2	0.5	1	2	5	10	20	100
	Sovraccarico	350	350	350	350	400	400	600	1000
Assoluto (Torre)	Pressione nominale	2	5	10	20	50	100	200	1000
	Sovraccarico	2600	2600	2600	2600	3000	3000	4500	7500
Assoluto (mbar)	Pressione nominale	2	5	10	20	50	100	200	1000
	Sovraccarico	3500	3500	3500	3500	4000	4000	6000	10000
NOTA: per altre gamme di misurazione, contattaci.
Misurazione mezzo
Tipo		Vari gas compatibili con i materiali di contatto
Segnale di uscita/alimentazione
Standard		0 ~ 10VDC /VS = 12 ~ 30 V _DC
Prestazione
Precisione		±0,1%FS (20kPa,100kPa) ±0,25%FS (5kPa,10kPa) ±0,5%FS (500Pa,1kPa,2KPa) ±1,5%FS (200Pa)
Stabilità a lungo termine		±0,50%FS/anno, ≤1kPa ±0,25%FS/anno, >1kPa
*La precisione è conforme a IEC 60770 (non linearità, isteresi, ripetibilità)
Condizioni ambientali
Intervallo di temperatura		Temperatura di funzionamento: -40~125℃ (max 120 minuti a +125°C) Temperatura ambiente: -30 ~ 85 ℃ Temperatura di conservazione: -30 ~ 85 ℃
Grado di protezione		IP40
Deriva della temperatura
Temperatura di compensazione		-20 ~ 80 ℃
Deriva termica del punto zero		±1,5%FS (entro la temperatura di compensazione)
Drift di temperatura di tutta scala		±1,5%FS (entro la temperatura di compensazione)
Protezione elettrica
Protezione a corto circuito		Supporto
Protezione della polarità inversa		Nessun danno, il circuito non funziona
Stabilità meccanica
Vibrazione		20g (20 ~ 5000Hz)
Resistenza all'ambiente		50 g (11 ms)
Isolamento
Resistenza all'isolamento		>200 MΩ a 500 VCC
Resistenza dielettrica		<2mA 500VAC 1min