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HPM18V Capacitance Vioficatore Assoluto Pressuretransmit

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Panoramica

HPM18V è un indicatore di vuoto con protezione del diaframma, chiamato anche indicatore di film capacitivo (CDG). Questo prodotto utilizza un sensore capacitivo in ceramica come elemento sensibile e utilizza una vacanza per misurare direttamente la pressione. I suoi segnali di uscita analogici come 0-5 o 0-10VDC sono proporzionali alla pressione misurata e non sono influenzati dal tipo e dalla composizione del gas di processo. Le ceramiche hanno le caratteristiche dell'elevata elasticità, della resistenza all'usura, della resistenza alla corrosione e della rapida dissipazione del calore, il che rende l'indicatore del vuoto ha una stabilità termica molto buona e   una deriva a bassa temperatura.

Applicazione

  • Applicazione del vuoto

  • Laboratorio, ricerca e sviluppo

  • Industria dei semiconduttori

  • Imballaggio a vuoto

  • Apparecchiatura di processo di incisione al plasma

Caratteristiche

  • Principio del film di condensatore

  • Alta precisione e buona stabilità

  • Ha una buona capacità anti-sovraccarico

  • Il rilevamento non è influenzato dal tipo di gas e dalla composizione

  • Risposta rapida e piccola isteresi

  • Misurazione della pressione diretta, il segnale di uscita analogico è proporzionale alla pressione misurata

  • Supportare varie interfacce di pressione KF, CF, VCR, ecc. Nell'industria del vuoto



Intervallo di pressione

0 ~ 2Torr… 1000Torr

Misurazione mezzo

Vari gas compatibili con i materiali di contatto

Intervallo di pressione

0 ~ 2Torr… 1000Torr

Precisione

± 0,1%fs, ± 0,25%fs, ± 0,5%fs (soggetto a intervallo di misurazione)

Temperatura di lavoro

-40 ~ 85 ℃

Tensione di alimentazione

10 ~ 30VDC; 8,5 ~ 30 VDC; 12 ~ 30VDC; 10 ~ 30VDC (soggetto a output)

Segnale di uscita

4 ~ 20MADC, tensione, rs485



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