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Vacuometro capacitivo ad alta precisione HPM18V con trasmettitore di pressione assoluta con protezione della membrana

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HPM18V è un vacuometro con protezione del diaframma, chiamato anche misuratore di film capacitivo (CDG). Questo prodotto utilizza un sensore capacitivo ceramico come elemento sensibile e utilizza una connessione a vuoto per misurare direttamente la pressione. I suoi segnali di uscita analogici come 0-5 o 0-10 V CC sono proporzionali alla pressione misurata e non sono influenzati dal tipo e dalla composizione del gas di processo. La ceramica ha le caratteristiche di elevata elasticità, resistenza all'usura, resistenza alla corrosione e rapida dissipazione del calore, il che conferisce al vacuometro un'ottima stabilità termica e una deriva termica estremamente bassa.



Applicazione


  • Applicazione sottovuoto

  • Laboratorio e ricerca e sviluppo

  • Industria dei semiconduttori

  • Confezionamento sottovuoto

  • Apparecchiature per il processo di incisione al plasma


Caratteristiche


  • Principio del film condensatore
  • Alta precisione e buona stabilità
  • Ha un'eccellente capacità anti-sovraccarico
  • Il rilevamento non è influenzato dal tipo e dalla composizione del gas
  • Risposta rapida e piccola isteresi
  • Misurazione diretta della pressione, il segnale di uscita analogico è proporzionale alla pressione misurata
  • Supporta varie interfacce di pressione KF, CF, VCR, ecc. nel settore del vuoto


Parametri tecnici


Campo di misura

Assoluto(kPa)

Pressione nominale

0.2

0.5

1

2

5

10

20

100

Sovraccarico

200

200

200

200

400

400

600

1000

Assoluto(Torr)

Pressione nominale

2

5

10

20

50

100

200

1000

Sovraccarico

2000

2000

2000

2000

4000

4000

6000

10000

Assoluto(mbar)

Pressione nominale

2

5

10

20

50

100

200

1000

Sovraccarico

2000

2000

2000

2000

4000

4000

6000

10000

Nota: per altri campi di misura contattateci.


Mezzo di misura

Vari gas compatibili con i materiali di contatto

Intervallo di pressione

0~2 Torr…1000 Torr

Precisione

±0,1%FS,±0,25%FS,±0,5%FS(soggetto al campo di misura)

Temperatura di lavoro

-40~85℃

Tensione di alimentazione

10~30 VCC

8,5~30 VCC

12~30 VCC

10~30 VCC

(soggetto all'output)

Segnale di uscita

4~20 mA CC, tensione, RS485


La nostra filosofia di prodotto è specializzazione, personalizzazione e intelligenza.

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