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HPM18V Amutazione a vuoto con capacità di precisione ad alta precisione con protezione diaframma pressuretransmitteri assoluti

HPM18V Amutazione a vuoto con capacità di precisione ad alta precisione con protezione diaframma pressuretransmitteri assoluti

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HPM18V è un indicatore di vuoto con protezione del diaframma, chiamato anche indicatore di film capacitivo (CDG). Questo prodotto utilizza un sensore capacitivo in ceramica come elemento sensibile e utilizza una vacanza per misurare direttamente la pressione. I suoi segnali di uscita analogici come 0-5 o 0-10VDC sono proporzionali alla pressione misurata e non sono influenzati dal tipo e dalla composizione del gas di processo. Le ceramiche hanno le caratteristiche dell'elevata elasticità, della resistenza all'usura, della resistenza alla corrosione e della rapida dissipazione del calore, il che rende l'indicatore del vuoto ha una stabilità termica molto buona e una deriva a bassa temperatura.

Descrizione

Applicazione

Caratteristiche

Parametri

HPM18V è un indicatore di vuoto con protezione del diaframma, chiamato anche indicatore di film capacitivo (CDG). Questo prodotto utilizza un sensore capacitivo in ceramica come elemento sensibile e utilizza una vacanza per misurare direttamente la pressione. I suoi segnali di uscita analogici come 0-5 o 0-10VDC sono proporzionali alla pressione misurata e non sono influenzati dal tipo e dalla composizione del gas di processo. Le ceramiche hanno le caratteristiche dell'elevata elasticità, della resistenza all'usura, della resistenza alla corrosione e della rapida dissipazione del calore, il che rende l'indicatore del vuoto ha una stabilità termica molto buona e una deriva a bassa temperatura.

Applicazione

Applicazione del vuoto
Laboratorio, ricerca e sviluppo
Industria dei semiconduttori
Imballaggio a vuoto
Apparecchiatura di processo di incisione al plasma

Caratteristiche

Principio del film di condensatore
Alta precisione e buona stabilità
Ha una buona capacità anti-sovraccarico
Il rilevamento non è influenzato dal tipo di gas e dalla composizione
Risposta rapida e piccola isteresi
Misurazione della pressione diretta, il segnale di uscita analogico è proporzionale alla pressione misurata

Supportare varie interfacce di pressione KF, CF, VCR, ecc. Nell'industria del vuoto

Parametri tecnici

Intervallo di misurazione
Assoluto （kpa）	Pressione nominale	0.2	0.5	1	2	5	10	20	100
Assoluto （kpa）	Sovraccarico	200	200	200	200	400	400	600	1000
Assoluto （torr）	Pressione nominale	2	5	10	20	50	100	200	1000
Assoluto （torr）	Sovraccarico	2000	2000	2000	2000	4000	4000	6000	10000
Assoluto （mbar）	Pressione nominale	2	5	10	20	50	100	200	1000
Assoluto （mbar）	Sovraccarico	2000	2000	2000	2000	4000	4000	6000	10000
NOTA: per altre gamme di misurazione, contattaci.

Misurazione mezzo	Vari gas compatibili con i materiali di contatto
Intervallo di pressione	0 ～ 2Torr… 1000Torr
Precisione	± 0,1%fs, ± 0,25%fs, ± 0,5%fs (soggetto a intervallo di misurazione)
Temperatura di lavoro	-40 ～ 85 ℃
Tensione di alimentazione	10 ~ 30vdc 8,5 ~ 30 VDC 12 ~ 30vdc 10 ~ 30vdc (soggetto a output)
Segnale di uscita	4 ~ 20MADC, tensione, rs485